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电子行业对于电子无尘车间的要求

电子行业对于电子无尘车间的要求:无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室,电子工厂生产工艺分类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平南显示器生产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅材料 生产(单晶硅、多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容、电阻),整机组装生产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件生产(传感器、执行机构)等。

由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对温湿度控制的要求相对较 高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5~10Pa。电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多,单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。电子行业生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风负荷环保要求。

 

电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:

1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。

2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。

4.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

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